上海集成電路研發(fā)中心有限公司（ICRD）成立于2002年，是國家支持組建、產(chǎn)學(xué)研合作的集成電路研發(fā)中心。ICRD由中國集成電路相關(guān)企業(yè)集團(tuán)和高校聯(lián)合投資組建而成，是一個獨(dú)立的面向全行業(yè)集成電路企業(yè)、大學(xué)及研究所開放的公共研發(fā)機(jī)構(gòu)。
潔凈室常用的FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組是一種自帶動力的送風(fēng)及過濾功效的模塊化裝置，英文全稱為:Fan Filter Unit，風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組從頂部將空氣吸和并經(jīng)HEPA過濾。潔斐然FFU機(jī)組廣泛應(yīng)用于無塵室，無塵操作臺，無塵生產(chǎn)線，組裝式無塵室和局部百級潔凈室等應(yīng)用場合。
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CFCP高性能無隔板過濾器濾材選用抗水型玻璃纖維濾紙，95褶/英尺，比常規(guī)產(chǎn)品增加了20%的面積，阻力更低使用壽命更長。外框采用鋁合金/不銹鋼/ABS等材質(zhì)，雙面護(hù)網(wǎng)，整體緊湊輕薄，具有大風(fēng)量、大容塵量、過濾精度高等優(yōu)點，可定制非標(biāo)尺寸，適合不同的機(jī)型使用。CFCP廣泛用于光學(xué)電子、半導(dǎo)體、液晶制造，精密儀器等無塵潔凈室/車間的空調(diào)末端送風(fēng)口。
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FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組是一種自帶動力的模塊化空氣凈化送風(fēng)裝置（Fan Filter Unit），潔斐然FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組常設(shè)置于潔凈棚/區(qū)/臺頂部，以正壓形式把空氣送往HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣約以0.45m/s的速度均勻送出。潔斐然FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的機(jī)體采用SUS304不銹鋼板或噴塑處理的鍍鋅鋼板制成，耐腐蝕、易清潔，經(jīng)模塊化設(shè)計后的機(jī)體結(jié)構(gòu)緊湊、輕巧堅固、占用空間少，且可陣列安裝。廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線和局部百級潔凈棚/區(qū)等應(yīng)用場合。
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在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，對區(qū)域空間潔凈度有更高需求的工序制程可采用微環(huán)境潔凈棚，如半導(dǎo)體微電子車間流水線作業(yè)區(qū)、特種設(shè)備區(qū)（工序制程釋放灰顆?；驓怏w物質(zhì)）、檢驗檢測區(qū)等，把核心工序控制在潔凈區(qū)域內(nèi)，保障產(chǎn)品良品率；潔浄棚配備新風(fēng)系統(tǒng)，從頂部CFCP高性能無隔板過濾器送風(fēng)；潔凈棚也適用于實驗室、食品加工、精細(xì)化工、精密機(jī)械等領(lǐng)域。
